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专题 容器技术专题
注塑成型技术和管理
专题 注塑成型技术和管理

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一种离子色谱技术测定电铸工艺金制品中氰化物含量的方法.pdf
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电铸微小金结构关键技术研究.pdf
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电铸与电弧喷涂快速制模技术研究.pdf
基于快速原型的电铸与电弧喷涂相结合的制模技术，能很好地保证模具精度，缩短制模周期，降低费用，成为了当今快速制模技术中的一个发展方向。　快速原型大多是非金属原型，而电铸要求原型必须导电。因此，非金属原型
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微电铸的工艺技术研究.pdf
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的环节，已成为当前MEMS技术研究的热点。而在众多的微细加工技术中，微
细电铸作为应用最广泛非硅微器件的加工手段之一，受到越来越多的关注。
在国家高技术研究开发计划(863)的支持下，本文基于微电铸工艺理论，
分析了影响微细电铸过程的主要因素。自行研制了微电铸系统，进行微电铸工艺
参数的优化，并利用其实现了几种不同功能微器件的电铸成型。现将主要工作归
纳如下：
1．基于电沉积理论，分析了微细电铸过程中金属离子的运动情况，明确了
电流密度和电铸速度以及电流效率之间的定量关系，给出了电铸速度和电流效率
的概念和计算方法；
2．根据微电铸工艺实施的需要，自行研制了一套微电铸实验系统，制定了
微细电铸工艺优化的实验方案；采用直流电铸和脉冲电铸两种方式，结合其电铸
速度、电流效率以及铸层表面形貌，得到了较优化的电流参数：
3．对SU．8光刻胶厚膜光刻工艺展开了探索研究，分别进行了单层胶和双
层胶光刻实验，针对具体的实验环境对其工艺参数进行了调整和优化，制作了几
种典型的微结构光刻胶模型，并利用其作为电铸母型，微电铸成型了其模具型腔；
4．利用AZ光刻胶热熔法制作了微透镜胶模阵列，利用优化后的微电铸工
艺参数电铸成型了微透镜阵列模具。
通过本研究的工作，进一步明确了影响微电铸工艺的主要因素。随着整个微
电铸工艺的实施，加深了对微电铸工艺过程的认识，为后续的进一步工艺优化提
供了实验依据。
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Athens1509從上面的數據中，我們可以知道：接近黃金比例的比例，可以讓我們感覺到美觀。這裡是希臘雅典的衛城(Acropolis)遺跡區，1987年列入聯合國教科文組織世界遺產地。一提到這裡，就會
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