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晶圆制造设备(起草参考文案)

2阅读 8页qianoor上传于2023-12-15 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 qianoor 分享于2023-12-15 15:56

Doc-A37836；本文是办公文档中解决方案 的表格模板参考范文。正文共4,863字，word格式文档。内容摘要：晶圆制造设备的内容摘要：单晶圆离子注入机OptimaXE是一款用于DRAM、NAND和NOR闪存、嵌入式存储器和逻辑器件制造的高能离子注入机。它可以提供从10keV到4MeV范围的能
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晶圆 制造 光刻机 刻蚀 设备 光刻胶
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