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Cu互连阻挡层研究

  • 创建者:djxgreat
  • 创建时间:2011-11-11 11:11
  • 修改时间:2011-11-11 11:11
  • 介绍:Cu互连阻挡层研究
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集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究70 p
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  • 上传人: Hemuchengxi
  • 2011-05-08 17:02
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  • 2011-04-13 11:02
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新一代集成电路Cu互连用Ta基扩散阻挡层的制备及特性研究81 p
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  • 上传人: 拉拉
  • 2011-05-03 18:02
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