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集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究

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集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究
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70页
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论文  —  毕业论文
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文档标签：
工艺 集成电路 互连 研究 阻挡层 扩散 CU 电路 工艺中 CU互连
系统标签：
扩散阻挡层 互连 集成电路 工艺 barrier itrs
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