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摘要MEMS光开关执行器一平行电容板结构的理论研究摘要光开关是实现全光网络的关键器件，MEMS光开关因具有体积小、集成度高、能大规模生产等优点，对实现全光通信有重要意义。驱动部件是MEMG光开关的关键
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mems光开关演示幻灯片.ppt
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最新MEMS光开关..教学讲义ppt.ppt
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