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随著半导体制造技术在近几十年来迅速地进步.doc
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半导体制造技术期末题库参考答案.pdf
1．分别简述RVD和GILD 的原理，它们的优缺点及应用方向。答：快速气相掺杂(RVD, Rapid Vapor-phase Doping)是一种掺杂剂从气相直接向硅中扩散、并能形成超浅结的快速掺杂工
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半导体制造技术(集成电路工艺)总复习.pdf
d1xcdeng@课程总体介绍课程总体介绍一、课程性质和任务： 一、课程性质和任务： “集成电路工艺原理”课程是电子科学与 “集成电路工艺原理”课程是电子科学与技术专业（集成电
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随著半导体制造技术在近几十年来迅速地进步.doc
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《半导体制造技术-韩郑生》半导体制造技术题库(2014版).pdf
1.分别简述RVD 和GILD 的原理，它们的优缺点及应用方向。 2. 集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺？各有什么优缺点？ 3. 杂质原子的扩散方式有哪几种？它们各自发生的条件是什么？ 4. 从原
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《半导体制造技术-韩郑生》第二章 扩散与氧化.pdf
本课程为微电子学及半导体相关技术学科研究生的专业基础课。本课程主要讲述硅集成电路制造的各单项工艺，介绍各项工艺的物理基础和基本原理，主要内容包括硅的晶体结构、氧化、扩散、离子注入、物理气相沉积、化学气
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《半导体制造技术-韩郑生》第七章 后道工艺.pdf
ZhaoCMOS-赵超中科院微电子所集成电路先导工艺研发中心Zhao内容：7.1 绪论7.2 摩尔定律对互连材料的要求7.2.1 电导率和铜互连7.2.2 电迁移7.2.3 线间电容和low-k材料7
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半导体制造技术(集成电路工艺)2_wafer.pdf
第二章硅和硅片的制备硅和硅片的制备微固学院 言本章主要内容：本章主要内容： 单晶硅的生长方法 单晶硅的生长方法 硅片制备的基本步骤本章知识要点： 掌握硅片制备的过程； 了解单晶硅的生长方法； 了解硅片
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半导体制造技术(集成电路工艺)4_oxide.doc
半导体制造技术(集成电路工艺)4_oxide半导体制造技
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向豆丁求助：有没有半导体制造技术2?

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