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光学元件超光滑表面在精密抛光中表面光洁度控制的研究.pdf
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西北大学硕士学位论文高精度角度光学元件超光滑表面的加工和检测技术研究姓名：王松伟申请学位级别：硕士专业：光学指导教师：姚合宝20080605的进行了全面总结，并指明了超光滑表面的发展趋势。关键词：超光
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