单晶硅超光滑光学元件加工工艺及检测技术的研究

同步辐射超光滑X射线光学元件的加工工艺与检测技术是一个新兴的领域，工作在短波段的光学元件的加工工艺及检测是软X射线光学基础技术研究的基本内容之一。 本文叙述了同步辐射光束线光学系统的特点，阐述了我国同步辐射光学元件的超光滑加工及检测技术的研究目的、意义与背景以及国内研究概况、与国外水平对比的差距。系统介绍了超光滑表面加工技术国内外现状及各种加工技术的原理和方法，以及同步辐射光学元件各种检测技术。