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本文档由 水云爻 分享于2009-12-09 17:31

-凝胶法制备溅镀法用的ITO靶材,溅镀法以该靶材制成的ITO成膜之电阻要比一般...化物薄膜时,是先将前驱物〔M(OR)n或ML,M:金属元素,OR:烷氧基,L:阴离子〕...
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回顾论文 成膜 氧化物 ITO Tin ATO 透光度 Films 烷基 靶材
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氧化物 靶材 ito ato 水解 薄膜
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