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晶圓廠總體設備效能提昇與管理系統(22)─子計畫三：半導體設.

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晶圓廠總體設備效能提昇與管理系統(22)─子計畫三：半導體設.
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幼儿/小学教育  —  教育管理
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效能 equipment health mci monitoring score
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