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IC封裝製程中影響銲線品質之参数最佳的研究-硕士论文.pdf
本文主要研究半導體IC 封裝之TFBGA(Thin Film Ball Grid Array)
銲線製程中影響銲線品質之銲線參數。在銲線品質指標中，以拉力值與推
球值為檢測值來做為參數修正之方向。首先進行材料變異分析的實驗，以
推球值與拉力值來判定晶體(Die)、金線(Gold Wire)、銲針(Capillary)
及基板(Substrate)的穩定性。分別對推球值與拉力值影響較大的參數以反
應曲面法來做實驗，分析各個參數對推球值與拉力值的貢獻度，提供新產
品開發時銲線參數設計之參考依據，以縮短半導體在銲線製程之參數研發
時間。
實驗結果以三維反應曲面圖呈現之，發現銲線壓力對推球值與拉力值
的貢獻幾乎不影響；第一銲點的銲線能量呈二次曲線，這表示銲線能量太
高或太低都不適當；更應注意球形是否有變形的現象才是。
關鍵詞：TFBGA、推球值、拉力值、反應曲面法
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