某某当电有限公司国家光学薄膜工程技术研究中心项目建议书（资金申请报告）

薄膜科学与技术涉及的范围极广，它包括以物理气相沉积和化学气相沉积为代表的成膜技术，以离子束刻蚀为代表的微细加工技术，成膜、刻蚀过程的监控技术、薄膜分析、评价与检测技术，薄膜材料的应用、开发及科学研究等。薄膜技术既是综合性的应用科学，又涉及到许多跨学科的理论基础，近年来正日益发展成门类齐全的薄膜产业。