Atomic Layer Etching原子层刻蚀技术:从ALD可以学到什么？

Atomic Layer Etching简称ALE,全称为原子层刻蚀技术。该文档介绍了ALE技术的进展情况，以及如果从ALD原子层沉积技术中学习等离子增强状况下采用脉冲的方式交替刻蚀的技术转移。可以实现原子层级别的刻蚀。通过采用等离子技术，ALE原子层刻蚀可以达到较快的刻蚀效率。