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基于LCOS波长选择开关的研究.pdf
分类号学号 M201372015 学校代码 10487 密级 硕士学位论文 基于LCOS 波长选择开关的研究 学位申请人： 学科专业：光学工程 指导教师： 罗风光 教授 答辩日期： 2015. 5.
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光学薄膜在lcos光学系统中的应用.pdf
光学薄膜在lcos光学系统中的应用 ...
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LCOS微型显示器项目可行性研究报告.doc
LCOS微型显示器项目可行性研究报告LCOS微型显示器项目可行性研究报告LCOS微型显示器项目可行性研究报告
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基于LcoS的激光背投电视的光机设计.pdf
原创性声明ｌＩＩＰ］ｌＩＩｌｌｌ ＩＩ ＩＩ Ｉｌｌｌｌ＼１７９０６９７本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他
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LCOS+IC中金属点缺陷的形成机理及改善方法研究.pdf
金属点缺陷普遍存在于半导体制造业所采用的金属铝薄膜中。这种
缺陷严重影响高清晰度的硅基液晶微显示器LCOS(Liquid Crystal On
Silicon)的金属反射薄膜的平坦度以及反射率，同时也影响芯片后段封装
测试的良率，甚至导致产品的可靠性问题。虽然国际上普遍认为金属点
缺陷是金属铝与铜在电解液中发生的原电池反应所造成的，也提出了个
别的预防方法，但缺少对于各种预防手段的综合应用，特别是有系统地
应用在LCOS 工艺的研发上。本文通过一系列的分析方法对金属点缺陷
的形态、结构、成分进行了比较全面的解析；详细阐述了金属点缺陷的
形成机理，并通过大量的实验来加以验证；最后针对金属点缺陷的形成
条件，通过LCOS 产品的流片实验，找到了比较有效的三种针对金属点
缺陷的改善方法：减少清洗时间、沉积氧化硅保护层以及增加金属铝层
表面的氧化处理。提出了同时使用三种改善措施可以大幅度提高LCOS
产品的良率，并用实验验证，对LCOS 产品的研发及CMOS 工艺的完善
有一定的指导意义和商业价值。
关键词：金属点缺陷，LCOS，湿法清洗
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LCOS微型投影仪中照明系统的设计.pdf
LCOS微型投影仪中照明系统的设计
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高分辨率LCOS光学引擎的光学系统设计.pdf
高分辨率LCOS光学引擎的光学系统设计高分辨率LCOS光学引擎的光学系统设计高分辨率LCOS光学引擎的光学系统设计
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LCOS.pdf
LCOS详解
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LCoS显示技术与LCoS背投.docx
LCoS显示技术与LCoS背投LCoS显示技术与LCoS背投LCoS显示技术与LCoS背投
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57
lcos芯片设计的研究.pdf
lcos芯片设计的研究,lcos芯片,lcos显示芯片,lcos投影机,lcos dlp,lcos技术,月lcos,长江通信 lcos,芯片设计,芯片设计流程
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