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应用于微纳
机电器件
制造电化学深刻蚀技术
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华东师范大学硕士学位论文摘要MEMS(MicroElectroMechanicalSystems,微机电系统)是基于微电子加工技术,汇集了电子、机械、材料、制造、测量,以及物理、化学和生物等多种学科,
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