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MEMES触觉传感器课程设计论文、报告及相关文献
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MEMS触觉传感器-综述.doc
摘要微小型化是当今技术领域发展的重要趋势之一，微电子机械系统（Micro Electro Mechanical System，简称MEMS）正是顺应这一趋势而应运而生的一门新学科。传感器技术是现代科学
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