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X射线三维相位成像因其可实现厚物质的内部三维结构的观察,在生物医学
和纳米材料领域有着广泛的应用。国家同步辐射实验室(NSRL)利用全场透射显微
技术(TXM)建设了高空间分辨X射线成像光束线和实验站。通过分析x射线成
像系统的不同的聚焦光学元件,选用旋转椭球聚焦镜来聚焦入射光源。针对成像
系统对照明光的要求,设计了四组旋转椭球聚焦镜,并利用新颖的实验方法对美
国Xradia公司制作的旋转椭球镜进行了检测。结果表明,旋转椭球聚焦镜的设
计满足成像要求。
本论文主要开展了以下几个方面的工作:
1.总结X射线显微技术以及X射线的微聚焦光学元件。总结了X射线成像技术
中出现的新研究领域:X射线相位衬度成像技术和X射线三维(显微)成像技术。
分析了三类X射线微聚焦光学元件的特点和适用范围。从而选定旋转椭球聚焦镜
为NSRL的X射线成像实验站的聚焦光学元件。
2.旋转椭球聚焦镜的设计。旋转椭球聚焦镜的设计按照以下原则:1,X光源处
于椭球的一个焦点处,以掠入射角照射到旋转椭球聚焦镜后,经表面全反射聚焦
于椭球镜的另一焦点上。2,根据成像系统的要求,四组旋转椭球聚焦镜出射光
的数值孔径应与波带片环状照明的数值孔径一致。根据以上原则设计了四组旋转
椭球聚焦镜的长轴和短轴和工作长度等。
3.旋转椭球聚焦镜的检测。聚焦光斑的大小和聚焦效率是衡量旋转椭球聚焦的
两个最重要的指标。采用NSRL的TXM实验站自身的优势,设计合理的实验方法
获得聚焦镜光斑的大小和效率。用实验值与理论值相比较,从而得出旋转椭球镜
的设计合理性以及它的性能。
关键词:x射线成像聚焦光学元件旋转椭球聚焦镜聚焦性能
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