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第十一章扩散和离子注入扩散和离子注入微固学院 言掺杂原因:本征硅导电能力很差 本征硅导电能力很差。在硅中加入一定数量和种类的杂质,改变其电学性质,并使掺入的杂质数量和分布情况都 掺入的杂质数量和分布情
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1Chapter8离子注入2目的• 至少列出三种最常运用的掺杂物• 识别出至少三种掺杂区域• 描画离子注入的优点• 描画离子注入机的主要部分• 解释通道效应• 离子种类和离子能量的关系• 解释后注入退

向豆丁求助:有没有半导体制造技术 1?