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- 对于半导体制造技术从晶圆准备、次微米制程及封装测试方面皆做完整详尽的介绍。最深入浅出、浅显易懂的字词揭示出原文书之精湛内容。 不论是在学研究生或是实际在线工程师而言，皆是一本优良的技术课程教材。
第01章 半导体工业简介
第02章 半导体材料特性
第03章 组件技术
第04章 硅与晶圆准备
第05章 半导体制造之化学特性
第06章 半导体制造厂之污染控制
第07章 量测与缺陷
第08章 制程反应室之气体控制
第09章 IC制造概述
第10章 氧化
第11章 沈积
第12章 金属化
第13章 微影：气相涂底至软烤
第14章 微影：对准与曝光
第15章 微影：光阻显影与先进雕像
第16章 蚀刻
第17章 离子植入
第18章 化学机械平坦化
第19章 晶圆测试
第20章 装配与封装
附录A 化学品及其安全性
附录B 无尘室中的污染控制
附录C 单位
附录D 以氧化物厚度为函数的颜色
附录E 光阻化学品概论
附录F 蚀刻化学品[/align]
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半导体制造技术第20章装配与封装.ppt
- 半导体制造技术 第20章 装配与封装. DE LIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY. www. dlit.edu.tw. ©2005 DLIT, All rights reserved. 授课老师：王宣胜 ...
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向豆丁求助：有没有半导体制造技术?
