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适于SAW器件“AlN硅”“AlN金刚石”多层膜制备及结构性能研究

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本文档由 jiqita1994 分享于2014-07-12 13:17

适于SAW器件“AlN硅”“AlN金刚石”多层膜制备及结构性能研究制备,结构,器件,AlN硅,AlN,性能研究,金刚石,研究结构,及结构性能,人造金刚石
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制备 结构 器件 AlN硅 AlN 性能研究 金刚石 研究结构 及结构性能 人造金刚石
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aln 多层膜 金刚石 结构性 器件 制备
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