氯硅烷的纯化

0 摘要：一种采用过渡金属复合物从三氯氢硅中去除磷及其他路易斯碱型杂质的方法，其中过渡金属复合物与三氯氢硅中的杂质发生反应，随后通过精馏得到高纯度的三氯氢硅，其杂质含量低于检测限。1 发明背景本发明涉及用于生产电子级硅的三氯氢硅的制备，特别涉及一种新的去除痕量电子施主类型杂质污染物的方法，这些杂质包括磷和其他路易斯碱型或者是质子受主型杂质。超高纯硅主要用于复杂精尖的电子器件，比如集成电路和晶体管。众所周知，即使是痕量的杂质也能严重影响含硅的电子组件的性能。半导体级硅通常是通过还原硅的卤化物得到，