现代集成电路芯片14nm节点FinFET制造工艺流程。

中兴事件一周年之际，重点介绍14nm节点FinFET工艺流程。（后栅工艺BEOL+FEOL）包括高k金属栅、应变硅技术、超低k介质多层金属铜布线等工艺，本文目的是科普集成电路芯片制造工艺（制程）知识。抛砖引玉，希望更多有识之士投入芯片国产化事业。