薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法-蒸发
本文档由 资料一箩筐 分享于2011-03-26 14:14
本文介绍了薄膜的物理制备的真空蒸发方法，包括真空蒸发原理、蒸发源的蒸发特性及薄厚分布、蒸发源的类型、合金及化合物的蒸发、膜厚和淀积速率的测量与监控等内容。
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