高功率射频CO2激光器放电机理研究

本文通过对射频放电特性及其影响因素的分析，得到了最佳激励频率，气体配比和工作气压的选择方法，同时找到了抑制co2分解的方法，为实际的激光器参数设计提供了依据和指导。