光学镜面离子束修形理论与工艺研究

本论文介绍了光学镜面离子束修形理论与工艺研究，包括对去除函数进行了建模和分析，驻留时间求解问题是IBF工艺中的关键问题，对修形能力进行了理论研究和试验验证，对IBF工艺中的主要误差源进行了分析等