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实验一：面形的三维干涉测量及评价（PV值与RMS值）

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本文档由 专业娱乐文档 分享于2009-04-08 15:14

本实验采用数字干涉测量原理进行，本实验与实验二的不同是测量中采用了扫描技术，因而可以实现面形的三维测量。高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标， ...
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文学/艺术/军事/历史  —  世界各国艺术
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干涉 RMS 形貌 光阑 高精度 反射镜 可调 透镜 工作台 平面
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rms 干涉测量 三维 实验 评价 形貌
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