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常压微波等离子体处理废气.pdf
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微波等离子体.pdf
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微波等离子体强化内电解处理分散艳蓝E4R溶液.pdf
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微波等离子体cvd法制备纳米金刚石薄膜的研究.pdf
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常压下微波等离子体处理四氟化碳的研究.pdf
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微波等离子体光源研究.pdf
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微波等离子体与rf等离子体的比较.pdf
- 微波等离子体与rf等离子体的比较
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一种环形波导微波等离子体装置.pdf
- 微波等离子体可以通过无极放电方式产生 ,相对其它放电方式而言 ,容易在高气压下维持较高容量 ,有较好的工业应用价值 ,但目前在较高气压下使用的微波等离子体装置还不成熟。为此 ,介绍了一种新型的微波等离子体反应腔 ,包括该腔体的结构和设计原理 ,并将其与现有的纯狭缝式微波反应腔作了比较 ,以说明两缝结合腔体的优点;通过引入喷气电离管前后微波激发所需要的能量变化以说明电离管的作用:它利用环形波导的狭缝天线和大缝向腔内传输微波以激发和维持等离子体 ,这种两缝结合的形式使反应腔内高场强区域扩大 ,有助于大面积等离子体的产生;同时 ,该腔体还配套有一喷气电离管 ,通过其产生的电离流的作用 ,有效降低了微波激发等离子体所需的能量。通过摄像头观察到的实验现象表明 ,在大气压下其产生的等离子体是相对均匀的 ,且覆盖面积大,可有效的应用于工业中。
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微波等离子体刻蚀技术研究.pdf
- lectronProduts ManufaturngEPE（总第171 Apr．2009微波等离子体刻蚀技术研究张振宇，胡顺欣，苏延芬，邓建国，刘英坤(中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄 050
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微波等离子体处理垃圾技术的应用.pdf
- 微波等离子体处理垃圾技术的应用微波,应用,垃圾,微波等离子,处理垃圾,微波技,技术处理,解决垃圾
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向豆丁求助：有没有微波等离子体?
