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Si片表面,淀积金属薄膜(Ti, Pt, W, Ta, Mo, Co),RTP,形成硅化物.pdf
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聚焦离子束诱发金属有机化学气相淀积碳-铂薄膜 focused ion beam induced metalorganic chemical vapor deposition of c-pt thin film.pdf
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- FilmDepositionDeposition depositingfilms onto threecategories films:*POLY* CONDUCTORS* INSULATORS (D
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向豆丁求助：有没有淀积pt?
