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mems开关可重构天线的研究与设计(理科).pdf
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40dc
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电子系统RF与天线PPT电子课件教案-第一章 无线通信系统简介.ppt
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电子系统RF与天线PPT电子课件教案-第三章 信号的产生--频率综合技术.ppt
- 第三章信号的产生—频率综合技术在现代电子通信系统中，稳定的重复波形信号（正弦波、非正弦波）是必不可少的。多种情况下，需要的频率还不止一个，且有一定的同步要求。因此，信号产生、信号同步、频率合成都是电子
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[信息与通信]电子系统RF与天线第五章10.ppt
- [信息与通信]电子系统RF与天线第五章10
射频放大、 第五章 射频放大、阻抗匹配与功率合成 在本章中，我们将扼要地介绍低噪声 前置放大器(lna)和射频功率放大器 (rfpa)的设计原则；并根据lna 和 rfpa 的现状（一般应用已有很多的ic 芯片或器件模块可供选择），重点介绍 在应用时，要特别加以注意的阻抗匹配 和射频功率合成/分配问题。
5.1 rf放大器
一、rf放大器的主要技术指标 1.增益 衡量放大器放大能力的指标
ii 信 号 源 vi 放 大 器 vo io 负 载
一、rf放大器的主要技术指标
电压增益： kv
= vo vi
l 工程表示：v = 20lg kv (db)
电流增益： k = i o , l = 20 lg k ( db ) i i i
ii
功率增益：
po vo i o kp = = = k v k i , l p = 10 lg k p ( db ) pi vi i i
一、rf放大器的主要技术指标
2.输入阻抗与输出阻抗
信 号 源
rs
ii ri
ro
io
负 载 rl
vs
vi 放大器
vo
一、rf放大器的主要技术指标
（1）输入阻抗
vi ri = ii
i.为使放大器得到较大的输入电压，应使
ri ff rs
ii.为使放大器得到较大的输入电流，应使
ri pp rs
iii.为使放大器得到较大的输入功率，应使
ri = rs
一、rf放大器的主要技术指标
（2）输出阻抗
vo ro ≠ io
i.要求输出电压稳定（rl变化），ro小好。 ii.要求输出电流稳定（rl变化），ro大好。 iii.要求输出功率稳定， ro=rl
一、rf放大器的主要技术指标
通常的射频放大器不加说明时有：
ro = 50
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RF MEMS开关的设计与制作.pdf
- 随着MEMS技术在20世纪晚期的进步，已使得设计和制造RFMEMS开关
成为可能。与半导体开关相比，MEMS开关的损耗低、隔离度高和功率处理能
力强。随着独立衬底的MEMS开关研究的深入，已在性能和价格两个方面取得
惊人的进步，MEMS的微波器件及系统已经出现在市场上。
本论文提出了基于单晶硅梁的扭转摆结构RFMEMS开关。开关的梁采用无
应力的单晶硅制作，可以解决开关中由于残余应力造成的变形问题;开关的机械
部分是一种翘板结构(即扭转摆)，可以解决传统开关的回复力不足引起的触点
粘连的问题。论文的主要工作有:
1.论文首先分析了现有的开关的优点和缺点，在国内首先提出了基于单晶
硅的扭转摆结构的开关，对于单晶硅的扭摆结构作了模态的分析，并且对其静力学和动力学特性作了相应的理论建模，为开关的设计提供了理论依据。
2.论文提出了设计基于单晶硅扭转摆结构的两种不同驱动方式的开关:静
电驱动开关和电磁驱动开关。对于静电驱动开关采用扭转摆结构可以降低其驱动电压，设计的开关驱动电压小于SV，克服传统开关回复力不足而造成的触点粘结问题。电磁驱动开关采用双线圈的推拉式驱动，可以降低驱动电流降低功耗，同时保证比较大的驱动力(大于25刚)。论文同时对于开关的结构设计和优化作了详细的讨论，并对于其电学特性作了分析，设计优化了共面波导传输线，利用AnsoftHFSS仿真开关的微波特性，静电驱动开关在40GHz时，隔离度优于一2OdB，
电磁驱动开关在40GHz时，隔离度优于一4OdB。
3.论文设计了开关的制造工艺流程并进行流片。设计了静电驱动开关的整
体工艺流程和具体的版图，并设计了电磁驱动开关的电磁驱动部分的整体工艺和版图。研究讨论了开关制造中的ICP刻蚀、牺牲层、互联线和体硅腐蚀等关键工艺，并制造了一台可以用于牺牲层释放的二氧化碳超临界干燥释放设备。
4.对于开关测试流片结果和出现的问题进行了分析讨论，静电驱动开关在
20GHz时，隔离度为一45dB;并对于超临界释放干燥设备中密封的问题和释放结
果作了分析和讨论。
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High-Performance RF-MEMS Tunable Filters - University of ...高性能的RF-MEMS调谐滤波器-大学....pdf
- High-PerformanceRF-MEMS Tunable FiltersbySang-June ParkA dissertation submitted partialfulfillmentof
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射频微机电RF MEMS滤波器的关键技术研究.pdf
- 密级中国科学院大学 Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ博士学位论文 作者姓名： ＫｅｙＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＲＦＭＥＭＳ Ｆｉｌｔｅｒ Ｂｙ Ｇｕｏｗｅｉ Ｈａｎ
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向豆丁求助：有没有rf mems 天线?
