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CVD
工艺培训资料
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CVD工艺培训教材 编者:熊炳辉 第一节 CVD 简介 第二节 CVD 膜在IC 中的运用 第三节 CVD 工艺的种类 第四节 CSMC-HJ 的CVD 工艺 第五节 CVD 介质膜的性质 第六节 C
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化学气相沉积(
CVD
)生长高质量的石墨烯及其性能的研究
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上海师范大学硕士学位论文论文题目: 学科专业: 学位申请人: 导师: 化学气相沉积(CVD)生长高质量的石墨烯及其性能的研究 理论物理 黄磊摘要 近年来,通过化学气相沉积(CVD)生长石墨烯的研究发展
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化學气相沉積
CVD
概述
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第4章化学气相沉积4.1 化学气相沉积合成方法发展• 化学气相沉积乃是通过化学反应的方式,利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源,在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固
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化学气相沉积(
CVD
)金刚石薄膜生长机理
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化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜生长机理 报告人:车清论 2012-11-12 一、化学气相沉积(CVD) 二、金刚石的特性和应用 三、金刚石生长机理 (一)金刚石生长理论模型 (二)低压下金刚石生长
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化学沉积_工艺详细讲解
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