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脉冲偏压电弧离子镀基体沉积温度的计算与纳米
多层
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步研究
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脉冲偏压电弧离子镀基体沉积温度的计算与纳米多层硬质薄膜的初步研究摘要基体沉积温度是离子镀工艺中影响薄膜性能和限制可镀基体范围的最重要参数之一。与传统的以直流负偏压为基础的电弧离子镀(directcur
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