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建设规模:年扩产多晶硅400吨,使年总产能达到多晶硅500吨;
1.2.6、工艺技术方案简述:
目前多晶硅的主要生产方法分别为硅烷法和三氯氢硅氢还原法(又称西门子法)这两种。
硅烷法是采用精制后的硅烷进行热分解反应,析出硅,从而获得多晶硅棒,再经进一步处理后而获得多晶硅产品。
三氯氢硅氢还原法是经过精制的三氯氢硅经挥发后与精制后的氢气在还原炉中高温下发生还原反应而析出硅,获得多晶棒,再往进一步处理后而获得多晶硅产品。
改良西门子法(即改良三氯氢硅氢还原法)主要是对还原尾气进行回收利用,提高三氯氢硅的转化率,降低其消耗,同时极大地解决尾气排放造成的污染问题。
本项目选择改良西门子法生产多晶硅。
该工艺流程采用三氯氢硅和氢气分别经过精制,进入还原炉,在高温下进行还原,获得的多晶硅棒经过后处理而获得高纯度的多晶硅。同时对还原尾气进行处理,回收三氯氢硅,四氯化硅和氢气。回收的三氯氢硅、四氯化硅、氢气经精制后再进入还原炉中生产多晶硅。多晶硅的产品质量达到GB/T 12963-1996的要求。
多晶硅,生产,增资扩建,工程项目,申请报告,西门子法
由原年产100吨多晶硅增资扩建至500吨工程项目申请报告
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