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第8工艺.pdf
第8章 干刻工艺第8章 干刻工艺第8章 干刻工艺
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第5工艺.pdf
第5章光刻工艺
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《半导体制造技术-韩郑生》第五 真空等离子体与蚀技术.pdf
第五章真空、等离子体与刻蚀技术5.1.1 真空压力范围与真空泵结构5.1.2 真空密封与压力测量5.1.3 等离子产生5.1 真空与等离子体主要内容5.1.1 真空压力范围与真空泵结构初真空 0.1
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合肥工业大学电子工艺课件(本科)第八章刻.pdf
豆丁精品文档: 合肥工业大学微电子工艺课件(本科)第八章 刻 蚀
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合肥工业大学电子工艺课件(本科)第七-1.pdf
主讲:张彦。E-mail: 。合肥工业大学电物学院微电子教研室。
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合肥工业大学电子工艺课件(本科)第七-2.pdf
第七章 光刻工艺(2)主讲:张彦。E-mail: 。合肥工业大学电物学院微电子学教研室。
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生产非晶硅薄膜太阳电池激光膜机.pdf
本文主要介绍非晶硅太阳哦能薄膜电池生产项目,以及太阳能电池发电系统的一些方法, 希望大家看我的资料有所帮助, 谢谢。
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激光膜设备和划线方法及其制造的非晶硅薄膜光伏板.pdf
本发明公开了激光刻膜设备和划线方法及用其制造的非晶硅薄膜光伏板。该用于薄膜划线的激光刻膜设备,包括:工作平台,以及向所述工作平台发射单一波长激光的单一激光源:其中该单一激光源的功率可调,从而以不同功率的激光对设置在同一个所述工作平台上的同一个基板上的不同膜进行划线。通过采用本发明的激光刻膜设备和划线方法所制造的非晶硅薄膜光伏板与采用多个分立划线机器的传统图案化方法相比,由错划线引起的有源区域的额外损耗大大减少,并且输出功率得以提高。

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