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集成电路工艺原理教学大纲.doc
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集成电路工艺与电子化学品.docx
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---集成电路
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一、名词解释(1)化学气相沉积:化学气体或蒸气和晶圆表面的固体产生反应,在表面上以薄膜形式产生固态的副产品,其它的副产品是挥发性的会从表面离开。 (2)物理气相沉积:“物理气相沉积” 通常指满意下面三
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集成电路工艺原理期末问题-论文.doc
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向豆丁求助:有没有集成电路工艺?