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光学自由曲面的超精密加工技术及应用.doc
光学自由曲面的超精密加工技术及应用Ultra Machining Tec hnique fo Optecal Fre efo rm Applicatio :光学自由曲面是指非对称性、不规则 、不适合用
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精密及超精密加工的现状及发展前景.pdf
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第8章 光学非球面零件的超精密加工.ppt
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非球面光学零件超精密加工技术-2013.pdf
非球面光学零件超精密加工技术来源:数控机床网　作者:数控车床　栏目:行业动态　1概述1．1非球面光学零件的作用非球面光学零件是一种非常重要的光学零件，常用的有抛物面镜、双曲面镜、椭球面镜等。非球面光学
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超精密加工表面微观形貌的光学测量方法.doc
介绍了几种典型的超精密加工表面微观形貌光学测量方法的测量原理及优缺点，评述了表面微观形貌光学测量技术的发展动态。
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自由曲面光学的超精密加工技术及其应用.pdf
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分析的超精密加工机床振动分析研究.pdf
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精密和超精密加工机床的现状及发展.doc
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超精密加工表面微观形貌的光学测量方法.doc
一、概述机械零件的表面加工质量不仅直接影响零件的使用性能，而且对产品的质量、可靠性及寿命也至关重要。随着超精密加工技术的飞速发展，超精密加工表面的微观形貌测量已成为超精密加工领域中亟待解决的关键课题。超精密加工表面极为光滑，表面粗糙度Ra值在几分之一纳米到十几纳米之间。加工超光滑表面的材料主要有光学玻璃、有机玻璃、石英玻璃等光学材料，锗、硅等半导体材料及铜、铝等金属材料。表面微观形貌测量的传统方法是机械触针法，该方法可通过触测直接获得被测表面某一截面的轮廓曲线，经计算机进行数据处理分析，可得到接
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