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CVD沉积技术.ppt
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PVD与CVD区别.doc
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CVD法在多孔陶瓷基体上制备氮化硅涂层的显微结构及性能研究.pdf
武汉理工大学博士学位论文摘要多孔陶瓷是一种新型陶瓷材料，具有密度低、气孔率高、．抗腐蚀、耐高温和使用寿命长等优点，能在较大温度范围内正常使用，可以作为一种理想的新型高性能透波候选材料。较高气孔率的存在
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CVD的原理与工艺.ppt
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