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ALSI或ALSICU刻蚀后硅渣残留去除方式的研究(范文范文).doc
Doc-106PT5；本文是“论文”中“自然科学论文”的论文的论文参考范文或相关资料文档。正文共2,953字，word格式文档。内容摘要：引 言，金属干刻、湿刻后的硅渣状况，非薄场铝栅的金属干刻，薄场铝栅的金属干刻，金属湿刻，目前常用的去硅渣方式，新开发的干法扫去硅渣，结 论，或ALSICU因掺有～1%的Si，金属湿刻后会留下大量硅渣，需要用干法去硅渣去除，金属干刻后也会留下硅渣残留，结 语，参考文献，李希有，龙芋宏，许高斌，孙伟锋，。
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