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电子科大 第八
章
基本光
刻
工艺(定稿版)
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微电子工艺原理与技术 第3篇 单项工艺 第7
章
光学光
刻
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第8
章
_光
刻
胶(电子科大mems课件)
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MicroelectronicFabrication MEMSTechnology1第 光刻胶一、光刻胶的类型凡是在能量束(光束、电子束、离子束等)的照射下,以交联反应为主的光刻胶称为负性光刻胶负性光
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第7
章
_光学光
刻
(电子科大mems课件)
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光学光刻光刻曝光刻蚀光源曝光方式7.1光刻概述评价光刻工艺可用三项主要的标准:分辨率、对准精度 和生产效率。涂光刻胶(正)选择曝光光刻工艺流程显影(第 次图形转移)*光刻工艺的8个步骤光源紫外光(UV
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电子科大微电子工艺(第六
章
)
刻
蚀
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电子科大微电子工艺(第六章)刻蚀
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电子科大微电子工艺(第五
章
)光
刻
工艺
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电子科大微电子工艺(第五章)光刻工艺
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高中地理 第三
章
第一节《城乡规划与
刻
持续发展》课件 新人教版选修4
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高中地理 第三章第一节《城乡规划与刻持续发展》课件 新人教版选修4高中地理 第三章第一节《城乡规划与刻持续发展》课件 新人教版选修4高中地理 第三章第一节《城乡规划与刻持续发展》课件 新人教版选修4
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Michael quirk_半导体制造技术-第13
章
_光
刻
_气相成底膜到软烘
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PrenticeHall Semiconductor Manufacturing Technologyby Michael Quirk JulianSerdaSemiconductor Manufac
piwangjian2005
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第12
章
光
刻
:掩膜,光
刻
胶和光
刻
机(课件)
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光刻是一种种象种印的技种,是集成种路制程中一种种种的工种技种。在整工种流程中,光 个刻的步种占到50 %以上,其成本占种制造成本的1/3 以上。Photolithography光刻步种占整工种流程 个
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【材料课件】第三
章
微细加工中的
刻
蚀
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【材料课件】第三章 微细加工中的刻蚀
——【大学课件,精品文档】
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