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电子科大微电子工艺(第五章)光刻工艺.ppt
电子科大微电子工艺(第五章)光刻工艺
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合肥工业大学微电子工艺课件(本科)第八章刻蚀.pdf
豆丁精品文档： 合肥工业大学微电子工艺课件(本科)第八章 刻 蚀
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高中地理 第三章第一节《城乡规划与刻持续发展》课件 新人教版选修4.ppt
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合肥工业大学微电子工艺课件(本科)第七章光刻-2.pdf
第七章 光刻工艺(2)主讲：张彦。E-mail: 。合肥工业大学电物学院微电子学教研室。
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合肥工业大学微电子工艺课件(本科)第七章光刻-1.pdf
主讲：张彦。E-mail: 。合肥工业大学电物学院微电子教研室。
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第8章_干刻工艺.doc
第八章干刻工艺 8.1 Dry Etch 工序的目的 广义而言，所谓的刻蚀技术，是将显影后所产生的光阻图案忠实地转印到光阻下的材质上，形成由光刻技术定义的图形。它包含了将材质整面均匀移除及图案选择性部
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第十四章先进光刻工艺可见光的分辨率和对准能力(3σ)在1um以下时会受到 ....pdf
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Michael quirk_半导体制造技术-第13章_光刻_气相成底膜到软烘.ppt
PrenticeHall Semiconductor Manufacturing Technologyby Michael Quirk JulianSerdaSemiconductor Manufac
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第12章 光刻:掩膜,光刻胶和光刻机(课件).ppt
光刻是一种种象种印的技种，是集成种路制程中一种种种的工种技种。在整工种流程中，光 个刻的步种占到50 ％以上，其成本占种制造成本的1/3 以上。Photolithography光刻步种占整工种流程 个
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【材料课件】第三章 微细加工中的刻蚀.ppt
【材料课件】第三章 微细加工中的刻蚀
——【大学课件，精品文档】
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