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译员测试登记表

20阅读 2页yixuejia上传 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 yixuejia 分享于2010-11-20 10:21

ALD设备的设计通常可分为热壁反应室和冷壁反应室两大类.热壁反应室将整个反应室维持或接近于淀积温度,热壁反应室的主要优势是在反应室侧壁上所淀积的也都是高...
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行业资料  —  轻工业/手工业
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壁反应
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反应室 译员 淀积温度 淀积 登记表 晶圆
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