热蒸镀系统机构设计与制作
本文档由 runqin 分享于2009-03-08 08:40
主要为提供电极杆,遮蔽机构及真空之吸入口 及氮气排入口之基座用,其材质与上舱体一样为 SUS316制成,本体经机械加工后与各机构焊接而 成,其机构部份包含蒸镀源遮蔽板机构及电极杆固 定座,4根电极杆,钨舟 接器,钨舟及抽真空入 口,¸¸¸
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