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半导体制造工艺流程

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本文档由 劲舞 分享于2009-02-11 20:54

本文以半导体Si器件工艺为例，图示介绍了半导体IC中常用的一些工艺流程，具有较强的教育价值，是初学者较好的感性认识学习资料。
文档格式：
.ppt
文档大小：
940.5K
文档页数：
97页
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26 /  0
收藏人数：
165
评论次数：
2
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文档分类：
高等教育  —  工学
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文档标签：
半导体制造工艺流程 CMOS 集成电路 晶圆 芯片 半导体 mils 制程 晶粒 电阻
系统标签：
半导体制造 硅栅 晶圆 次光刻 光刻 cmos
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