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Two-step Glass Wet-etching for Micro-fluidic Devices两步玻璃湿法刻蚀的微流控器件

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本文档由 浙大文库 分享于2013-12-29 15:44

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玻璃 湿法 玻璃微流控 glass for 湿法刻蚀 微流控 Wet Glass 玻璃微
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etching 法刻蚀 wet 流控 fluidic micro
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