以陽極鋁氧化法形成奈米孔陣列

... 摘要 本研究探討了具奈米級孔洞陣列之陽極氧化鋁(AAO) 基板之製作。實驗上 運用高純度鋁箔與蒸鍍在矽晶圓上之鋁薄膜兩種基板來製作奈米級多孔性之陽極 氧化鋁基板，並經由製程條件之控制，以獲得均勻性佳且具排列性之孔洞。於場 發射掃描式電子顯微鏡分析下，發現在較低溫(5 ...