半导体专业实验补充silvaco器件仿真
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实验2 PN结二极管特性仿真。1、实验内容。（1）PN结穿通二极管正向I-V特性、反向击穿特性、反向恢复特性等仿真。。（2）结构和参数：PN结穿通二极管的结构如图1所示，两端高掺杂，n-为耐压层，低掺杂，具体参数：器件宽度4μm，器件长度20μm，耐压层厚度16μm，p+区厚度2μm，n+区厚度2μm。掺杂浓度：p+区浓度为1×1019cm-3，n+区浓度为1×1019cm-3，耐压层参考浓度为5×1015 cm-3。。 。图1 普..
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