产业要闻与分析

汲极区带来损伤¸而湿式蚀刻虽然破坏性低,不过存在蚀刻速度慢, 矽与二氧化矽的选择比小等问题¸在此次演讲会上,出现了新的蚀刻液和工艺技术提案¸ 日本大金工业提出了使用氟类化合物和有机溶液的蚀刻液¸为了提高¸¸¸