光学镜头镜片激光焦点小光斑测试光学系统原理图

镜头的聚焦光斑尺寸是标志镜头性能的一项重要参数，也是实际应用中用户非常关心的参量。例如在工业上的激光精细加工，在医疗上的激光缝合技术，在激光准直定位等等，这些激光的应用都要依靠调节激光光斑尺寸和能量参数。 CCD法是目前最常用的一种方法：其采用线阵式CCD器件作为光探测器，拍摄光斑图像，获得每一个像素的光强数据，进而得出能量分布图和光斑直径。该方法操作简单，精度高。但由于CCD不能接收太高的能量，CCD法测量大功率激光时需要添加衰减片。另外一方面，受限于CCD像素精度，能够直接读取的光斑大小需大于30um才能够保证测量精度。 为了测量小于30um的光斑强度分布，从而直观快速地研判光学镜头的性能，插入一个高数值孔径的光学放大标准系统，将小光斑放大10倍或数十倍后再通过CCD法显示光斑的强度分布，从而提高了光束分析系统的分辨能力。通过合理的配置，可以测量小于1um..