半导体制造技术

本文档由 啥啥啥 分享于2010-02-04 08:43

反应气体1钝气(a)气体注入形式N2反应气体加热器N2N2N2N2N2晶圆(b)架构形式...填沟晶片特性低K介电质要求高K介电常数元件隔离区域氧化浅沟渠隔离...
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CVD DLIT 沈積 多晶 薄膜 基板 高密度 半导体 成長 氮化
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dlit cvd 半导体制造 薄膜 磊晶 基板
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