工业技术研究院委托学术机构研究

本文档由 城市美 分享于2008-12-03 05:49

镀制 同比 的(SiO2)x-(TiO2)1-x薄 膜. 2. 矽酸四乙酯(TEOS)及四 丙烷氧化钛(TTIP)前驱物 的混合比 与薄膜计 比 的关系. 3. 一次与多次镀层的厚 鉴 定与均匀性. 4. 同比 的(SiO2)x- (TiO2)1-x薄膜...
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工业技术研究院委托学术机构研究 薄膜 氧化物 films Fig TTIP TEOS density 氧原子 基板
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