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薄膜溅射技术

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本文档由 精品库 分享于2012-05-10 15:57

溅射是离子轰击物质表面，并在碰撞过程中发生动能与动量的转移，从而将物质表面原子激发出来的过程。沉积薄膜，刻蚀，离子注入。
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.ppt
文档大小：
19.3M
文档页数：
251页
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义子 薄膜 溅射技术 义义 极区 exp
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